二手 ADE / KLA / TENCOR 780 MRT #9132937 待售

ADE/KLA/TENCOR 780 MRT是一種先進的半導體制造晶圓測試和計量設備。它旨在幫助表征晶片工藝和識別工藝缺陷,提供對工藝性能的深入了解,並最終幫助降低制造成本。ADE 780 MRT具有兩個測量頭-每個測量頭都包含用於測量晶圓表面電性能的傳感器和用於對晶圓表面進行詳細成像的圖像捕獲系統。這些測量頭進行晶圓光譜反射率、缺陷成像、電泄漏測量以及晶圓平坦度和經度測量。這兩個測量頭可同時用於提供在線和離線測量。晶圓可以串聯處理，而另一個磁頭準備進行實時測量；這種能力能夠及早發現生產周期中的缺陷,並能快速反饋以改進過程或防止缺陷。在線測量可用於跟蹤過程的各個方面，如晶圓清潔度、介電層厚度、平坦度等。然後,離線測量可用於檢測缺陷並對其進行表征,處理非均勻性,並監測臨界規格,如表面粗糙度、氧化物/矽比例和汙染程度。KLA 780 MRT還提供了廣泛的分析功能,提供了有關所測試材料的深入信息,使用戶能夠快速了解晶片上以及不同晶片批次之間的趨勢。該單元可以生成從測量中收集的數據的多參數散射圖,幫助識別問題並指導糾正措施。此外，該機器還提供了一系列與計量相關的軟件解決方案，用於分析從測量中收集的數據。這些解決方案可以提供詳細的報告，執行統計分析，比較晶圓上各個站點以及不同晶圓批次的數據。780 MRT用途廣泛,可以使用各種硬件選項進行定制,例如防塵櫃、自動晶圓分級工具、集成監控資產以及溫度和濕度控制。總體而言,TENCOR 780 MRT為晶圓測試和計量提供了一個全面、通用的平臺,使客戶能夠充分利用晶圓過程。它有助於快速準確地識別和描述流程問題,並為糾正措施提供必要的信息。