二手 ADE / KLA / TENCOR 9350 #9128720 待售

ADE/KLA/TENCOR 9350是一種晶圓測試和計量設備，適用於許多不同的過程，包括光刻、化學機械拋光（CMP）和沈積。該系統由兩個組成部分組成，一個是綜合計量和晶圓檢驗子系統，另一個是控制子系統。集成的子系統允許高效的測試和計量過程，使設備成為許多工業用途的理想選擇。綜合計量和晶圓檢測子系統由一系列高分辨率成像光學器件、附加照明工具和自動計量機組成。成像光學可以進行全面的分析,包括微觀成像、特征測量、缺陷表征和輪廓映射等。照明工具使晶片能均勻照明，這有助於減少光線強度極端所造成的圖像像差。自動計量工具可以從多個角度即時捕獲和存儲晶圓的圖像,從而可以進行詳細的分析和描述。ADE 9350的控制子系統由高性能控制器和用戶友好圖形用戶界面（GUI）組成。控制器用於控制流程參數,而GUI允許用戶設置自動測試和計量流程,並實時查看獲取的數據。用戶友好的GUI還允許用戶存儲不同晶圓的圖像，可以訪問這些圖像進行比較。此外，控制器還能夠執行數據處理，如缺陷識別、模式識別、過程控制等。總體而言，KLA 9350是一種高效可靠的晶圓測試和計量資產，適用於許多工業應用。綜合計量和晶圓檢驗子系統提供晶圓的綜合分析和表征，而控制子系統易於使用，允許自動化測試和計量過程。這兩個子系統的結合，使得晶圓的準確可靠的測試和計量，使模型成為許多過程的理想選擇。