二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #133688 待售
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ID: 133688
Wafer dimensional measurement system
Includes:
Main body / head unit
Cassette loader
UPS
Test sample
Missing computer.
ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在實現廣泛的晶圓幾何形狀和應用的高精度和可靠性。這個先進的系統具有一個4英寸XYZ級,專門用於測量和控制被測設備的形狀、大小和形狀。它的高級功能包括二維(2D)測量、三維(3D)測量、背面測量以及對齊和放置測量。該設備具有自動靈敏度調整和晶圓校準功能,可提供高度準確的結果,無需用戶幹預。憑借32位實時64位數字信號處理器(DSP)和可編程控制器,ADE 9500 UltraGage可以在幾分鐘內生成信號處理和數據記錄操作。此外,該機器還可用於晶圓跟蹤和映射、模模評估、配方模塊和輪廓繪制,使其能夠滿足廣泛的計量需求。KLA 9500 UltraGage采用了一種成像工具,能夠捕獲尺寸小於1.5微米的晶圓細節。這加上其先進的信號處理算法,使其能夠精確識別和繪制出小至3.5納米的特征。其他功能包括模式識別、交叉校正和自動閾值。為了提高數據精度,資產配備了波形處理算法,以消除環境、噪聲、漂移和陰影效應。這個特性被稱為「Signature」,用於晶片的現場測試,允許晶片之間的實時比較。簽名模式有助於用戶測量正在測試的設備的焦點、傾斜和可重復性。9500 UltraGage還能夠存儲多達500種食譜和多達25,000幀視頻,從而使用戶能夠生成包含所需所有相關數據的非常詳細的報告。它還具有模式識別和高級特征檢測功能,提供直觀的用戶體驗。為確保精度和可靠性,TENCOR 9500 UltraGage設計了先進的振動和溫度補償模型,以改進晶圓測試和計量結果。它具有集成的映像存儲設施,使用戶能夠快速高效地訪問映像、分析和報告。利用它的最大4英寸晶圓尺寸,它可以在大小晶圓上快速輕松地執行測試和計量任務。ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage是一款功能強大且先進的晶圓測試和計量設備,能夠在廣泛的晶圓幾何形狀和應用中提供卓越而精確的結果。ADE 9500 UltraGage采用先進的處理器和復雜的算法,提供快速可靠的測試,使用戶能夠通過高效、精確的計量結果保持競爭力。
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