二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #9248218 待售

ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage是一款最先進的晶圓測試和計量設備，將自動缺陷檢測、薄膜和表面計量、缺陷審查等技術結合到一個平臺中。ADE 9500 UltraGage為晶圓級過程控制提供了卓越的映射和分析功能,使客戶能夠測量、分類和跟蹤影響產量的缺陷。KLA 9500 UltraGage提供了一個高度敏感的自動缺陷檢測系統,其缺陷檢測能力可達5 nm。集成的數字圖像分析單元自動識別和收集數據進行分類，從而實現半自動缺陷審查。該機器還提供薄膜、電線、鏡面和其他表面的自動系列測量功能。9500 UltraGage配備了法拉第杯技術、激光掃描共焦技術、旋轉共振技術、光學散射測量和X射線技術等多種測量技術，能夠測量晶圓和基板上各種薄膜厚度、深度、輪廓、平均面積、線寬、邊緣粗糙度、表面平整度、傾倒圖樣等特性。該工具具有最佳性能,具有更快的信號/圖像處理能力、更高的吞吐量、更高的穩定性和更大的檢測範圍。TENCOR 9500 UltraGage還配備了先進的光學檢查功能，包括自動掃描/聚焦/照明功能、自動塗層膜厚度測量、Snell定律比較、光譜窄帶成像等。該資產還支持明場監測、暗場成像、相移成像、多贏成像以及其他圖像分析功能，以進行更準確、精確的分析。ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage的模塊化設計使客戶能夠針對特定應用優化測試模型的功能,並提供用於3D成像、大規模缺陷審查和高密度模式識別的選項模塊。它還與嚴格的OEM軟件同步,將測量和分析過程與客戶現有的系統集成在一起。最後,軟件控制解決方案提供了全面的數據管理和報告功能。總體而言,ADE 9500 UltraGage是一款綜合性晶圓測試和計量設備,可提供最高水平的準確性、靈活性和速度。它將有助於準確查明影響產量的缺陷、優化過程並最終提高產品產量。