二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #9249958 待售

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ID: 9249958
晶圓大小: 8"
Measurement system, 8".
ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage是一種晶片測試和計量設備,提供了一種可靠快速的測試方法,用於在粘合晶片上進行蝕刻、沈積和接觸孔對準。該系統旨在促進制造環境中的過程計量應用,使用戶能夠輕松地監視和測量其產品的質量,並確保產品的完整性和性能。該單元利用獨特的激光-光學反饋機制來測量制造過程中發生的微米級幾何變化。光學測量三個參數,包括表面高度、橫向位置和角度方向。這使得機器可以借助各種光學探針和傳感器精確測量晶圓地形。該工具采用線性級將晶片移動到適當位置並提供必要的測量。激光光學反饋機制還允許測量蝕刻深度、沈積厚度和接觸孔對準。ADE 9500 UltraGage還為用戶控制提供了強大的資產。觸摸屏方便面板采用直觀的圖形用戶界面,確保操作方便。這允許用戶快速設置或修改參數、啟動測量並查看結果。還可以記錄流程數據,並將其用於監測趨勢和比較一段時間的準確性。該模型的創新光學設計確保了靈活、精確的臺式掃描。光學元件安裝在電動底座中,以確保晶片在邊緣之間以連續運動的方式掃描。這樣可以確保最高精度和可重復性,即使是嚴格的公差也是如此。KLA 9500 UltraGage是一款功能強大的晶圓測試和計量設備,可提供可靠、快速的過程計量應用分析。憑借其先進的激光光學反饋機制和直觀的圖形用戶界面,用戶可以準確測試和測量自己的產品,以確保產品的完整性和性能。
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