二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9152997 待售
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已售出
ID: 9152997
Ultra gauge multi-measurement system
Includes:
Single cassette
ASC 1000 Controller
E-Station
Measures 8,700 data points in 60 seconds
2-D Contour map measurements
Thickness:
Center point
Five points or full wafer scan
Shape:
Bow and warp using 3-point
Global flatness:
SEMI GBI, TIR, FPD, FPD%
5-Points TTV
Site flatness:
SEMI M1 standards
Site size: 8-30 mm
Variable offsets
Thickness-accuracy: ±0/05 µm
Repeatability: 0.15 µm
Absolute range: Normal ± 125 µm
Global flatness: Accuracy ± 0.15 µm
Repeatability: 0.05 µm
Site flatness accuracy: ± 0.15µm
Wafer thickness: 400 µm - 1000 µm.
ADE/KLA/TENCOR 9500是專門為半導體制造應用而設計的晶圓測試和計量設備。它記錄了半導體器件和元件的電氣特性，便於處理和評估。該系統具備自動缺陷檢測能力，能夠檢測可能損害設備性能的顆粒。ADE 9500利用了多種測試儀器，包括兩個介電顯微鏡、三個光學顯微鏡、兩個SEM和幾個可變角度光譜橢圓儀。這些儀器,加上設備卓越的成像能力,可以快速準確地檢查和測量缺陷、特征尺寸、均勻性、質量參數等。也可用於測量厚度、薄膜性質和屈服率。測試機還采用自適應模式識別（APR）技術來檢測和分析可用於識別疾病適應癥的特征。這種模式識別技術還用於檢測和表征薄膜、電阻層和其他層中的互連、灰塵和汙垢汙染、材料不均勻和汙染。KLA 9500還包括各種自動化晶圓儲存器和放置工具,以提高吞吐量和準確性。這些工具簡化了晶片的加載、卸載、放置和對齊,並且能夠拾取和放置任何大小和類型的晶片。這使得設置用於分析晶片和執行測試的過程變得更加容易和快捷。該工具還可以編程為運行診斷測試,通常用於測量電阻值。這些測試在設計芯片時特別有用,在這些芯片中,失敗測試可以幫助確定設備故障的根本原因。TENCOR 9500資產能夠提供有關各種組件和設備的詳細、全面和準確的信息。這些數據可用於提高生產質量和效率,以及降低成本。它還具有足夠的通用性,可以適應各種半導體制造應用。9500型號設計為提供可靠、一致、準確的晶圓檢測和計量。
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