二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9265520 待售

ADE/KLA/TENCOR 9500是為半導體工藝表征而設計的晶圓測試和計量設備。它結合了多種先進的技術和方法來測量晶片表面的質量，從最簡單的結構到最復雜的結構。它允許對任何晶片或基材進行完整的表征,從預處理到後處理,從而實現準確的過程控制和設備制造,以及產量管理。該系統利用各種傳感器來測量機械、電氣和化學特性,以評估晶圓的表面。設備的機械傳感器測量表面地形、粘附強度和表面粗糙度等因素。電氣傳感器測量電阻、電容和電流。化學傳感器測量金屬氧化膜、摻雜劑濃度和電阻率等元素。傳感器的分辨率為一納米，機器包括兩種不同類型的掃描級，允許測量整個晶圓或特定位置。ADE 9500配備了先進的自動化軟件，允許從傳感器進行自動掃描和數據采集。自動命令從控制計算機發送到工具,以及從傳感器返回數據。對收集的數據進行了可視化分析,以進行故障分析和過程優化。該軟件包括一個廣泛的數據處理算法庫，允許用戶輕松操作和解釋數據。資產配備了多種安全功能，保護用戶，防止設備損壞。ESD風機可保護模型免受靜電放電,緊急斷電開關可幫助保護電路和組件免受過電壓條件的影響。該設備經過嚴格的安全測試，通過了國際自動化學會等安全標準組織的標準。KLA 9500是半導體行業必不可少的工具,可實現準確高效的工藝表征。它提供了多種高級功能和機器人,可實現高度精確的自動測量和數據采集,從而使用戶能夠準確地控制和管理其流程。該系統廣泛的安全功能保護用戶和設備,使其成為晶圓測試和計量中要求最高質量的任何應用程序的理想解決方案。