二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9281188 待售

ADE/KLA/TENCOR 9500是一種晶圓測試和計量系統，旨在滿足薄膜器件工程師對先進半導體應用的需求。它提供了一套全面的計量學功能，允許用戶準確測量廣泛的過程層。其獨特的光學顯微鏡、激光幹涉測量、散射測量等技術相結合，非常適合半導體工藝的預表征和產後故障排除。該裝置能夠精確測量晶片上薄膜層的光學、電氣和結構特性。它包括用於映射、成像和分析表面地形（具有次Angstrom分辨率）以及樣品的電氣特性的功能。此外,系統還可以執行多種功能,例如臨界尺寸（CD）測量、陣列成像和在線缺陷審查。ADE 9500還提供了樣品的自動快速對準以及激光聚焦優化、粒子搜索、模具搜索、現場查看和感興趣的區域變焦等多種自動化功能。它旨在通過常規校準幫助確保一致和可靠的測量性能。該系統包括各種模塊化工具，這些工具針對特定的流程步驟和各種用戶需求量身定制。準確的數據讀數可以快速準確地生成。用戶可以訪問功能強大但直觀的軟件,使他們能夠存儲圖像、分析結果和生成用於共享的報告。最後,KLA 9500具有直觀的圖形用戶（GUI）驅動的工作流工具,可幫助用戶更快、更簡單地完成任務。高速數據傳輸和自動數據傳輸等附加功能可確保無縫工作環境。這一點加上其業界領先的計量技術，使得它成為任何先進半導體應用的絕佳選擇。