二手 ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9397228 待售

ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage是為精確半導體器件測量而設計的晶圓測試和計量設備。它利用3 D光學非接觸表面成像技術對表面特征和過程引起的缺陷進行快速、準確和可重復的測量。該系統還提供高級映射、輪廓、GageLinx和檢查算法，以處理復雜的晶圓地形分析和控制。該單元的光學元件能夠每秒檢測多達100,000個數據點，從而能夠對晶圓的整個地形進行全面分析。ADE 9520 UltraGage還具有高分辨率CCD攝像頭,該攝像頭可捕獲用於光學成像和缺陷檢測功能的數據。通過使用CCD攝像機和一系列表面光學器件,機器可以檢測到尺寸不超過1nm的表面特征。除了收集數據外,KLA 9520 UltraGage還為用戶提供了強大的計量分析和報告功能。軟件提供了一整套可視化,包括高度映射和輪廓圖,這些圖形在收集新測量值時會自動更新。這允許用戶實時識別過程引起的缺陷，並調整過程參數以確保質量控制。該工具的數字化I/O和自動化支持允許與現有過程控制系統完全集成,從而能夠實時反饋制造條件。資產的強大的避錯能力可以檢測晶圓生產中的潛在問題並啟動必要的航向校正。結合ADE AS2 Insight軟件,9520 UltraGage提供了一個直觀的操作環境,便於設置、校準和操作。用戶友好的界面使模型能夠配置用於各種應用程序,並使設備成為研究和生產應用程序的理想選擇。TENCOR 9520 UltraGage是市場領先的晶圓測試和計量系統,可提供快速、可靠和準確的形式和缺陷測量。其自動化的光學和缺陷檢測功能,加上強大的計量分析和報告功能,提供了最佳的質量保證和過程控制。當與AS2 Insight軟件結合使用時,用戶可以深入了解其生產過程,並最大限度地提高吞吐量和節省成本。