二手 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9095972 待售

ADE/KLA/TENCOR 9600設備是一種晶片測試和計量系統，利用先進的成像能力和晶片級計量來精確測量、分析和表征晶片及其組件。利用高分辨率掃描成像技術，該單元可提供高精度、高精度的結果。對於機器的測試部分，一種專利光學掃描技術叫做缺陷檢查和大小（DIS）掃描整個晶片表面以尋找缺陷。這些缺陷可以使用圖像識別算法進行自動測量、分類和分析。通過使用單獨的顏色通道以及廣角和窄角光學器件，該工具能夠準確識別殘留物、顆粒和裂紋等多種缺陷並對其進行尺寸調整。資產的計量部分能夠提供晶圓結構的精確尺寸。高分辨率光學模型與快速晶圓級自動對準設備結合，以亞微米精度提供詳細測量。系統可測量步高、厚度、接觸面積等廣泛參數。此外,該單元還能夠捕獲高分辨率的表面圖像以進行地形分析。ADE 9600機器具有用戶友好的界面,可輕松設置和控制參數。它旨在幫助用戶快速識別和糾正晶圓表面的缺陷,從而提高產量並改進制造工藝。利用自動通過/故障檢查功能和自動數據分析,該工具能夠提供詳細的晶圓測試和計量結果,而這只是手動方法所需時間的一小部分。