二手 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9229873 待售

ADE/KLA/TENCOR 9600是一種晶片測試和計量設備,旨在從加工溶液和應用於晶片的材料中對3D地形和表面特性進行高精度測量。它提供了前沿研發所需的靈活性，以及商業生產應用所需的可靠性。系統采用雙光束、非接觸、散射原理，具有快速、準確的分析能力。它使用紅外CCD攝像機從被測樣品產生的光散射信號中收集地形數據。該單元在獨特的寬帶和成像環境中跨越一系列激發波長運行。這樣可以更準確地評估薄膜和紋理特性,每秒可測量1,000個或更多點。該機器還提供全場或單點電壓對比度成像（VCI）,並具有內置反饋控制。此功能允許在未圖案化的晶片上捕獲納米級的表面圖像和輪廓,有助於表征晶片的平坦度和扭曲。除了計量功能外,ADE 9600還具有非接觸晶片分析功能,允許用戶在單個晶片上測量多達100層薄膜或層。它利用全局腔諧振器以比標準接觸測量技術更高的分辨率測量晶圓厚度。嵌入在KLA 9600中的先進光學和圖像處理使其成為研究和生產環境的理想選擇。最大吞吐量、自上而下的成像和映射功能使9600成為檢查晶圓級產品的理想工具。其集成的軟件控制使用戶能夠配置流程參數以及監控、跟蹤和分析晶圓測試結果。總之，TENCOR 9600是任何半導體研究和制造環境中必不可少的工具。其高精度和最先進的測量能力簡化了晶圓測試和計量過程，從而產生了更精確的測量數據。ADE/KLA/TENCOR 9600采用多種映射、成像和分析技術,確保了在要求最苛刻的晶圓測試應用中的高性能和可靠性。