二手 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9240649 待售

ADE/KLA/TENCOR 9600是由ADE開發的晶圓測試和計量設備。自2006年推出以來，ADE 9600由於能夠在薄片上快速準確地測試小特性，已被半導體和平板顯示行業廣泛采用。KLA 9600系統具有水平構建光學（HBO）單元,可在高速下精確測量晶圓特征大小、形狀和一致性。這臺機器能夠精確測量30nm至10 um範圍內的特征尺寸，精確度極高。TENCOR 9600還配備了高達5um的高分辨率成像系統，允許對晶圓表面的小特征和缺陷進行高保真成像。9600工具還能夠進行性能指標分析,以實現更快的過程控制和周期時間。資產利用叠加、臨界尺寸（CD）、圖像質量和晶圓旋轉等指標快速診斷和改善工藝條件。此外，該模型還可以分析晶片表面的覆蓋層組成、抗缺陷和汙染。ADE/KLA/TENCOR 9600設備的設計考慮到了高可靠性,後端系統旨在在靜態或動態環境中進行連續測試。該單元還設計了一整套自動化功能，包括校準功能、自動化結果處理、快速圖像分析和自動壓力應用。此外，ADE 9600機器被設計為與一個中央統一的軟件平臺接口，允許用戶跟蹤晶圓從一個晶圓到另一個晶圓的測試，即時檢測任何晶圓缺陷，並便於更正。該工具還能夠為用戶提供有關產量和質量數據的快速反饋。總之，KLA 9600是一種先進的晶圓測試和計量資產，被半導體和平板顯示器行業廣泛采用。它具有Horizontal Build Optics （HBO）模型和用於精確晶圓特性測試的高分辨率成像系統,以及一系列自動化功能和統一的軟件平臺。