二手 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9241349 待售
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ID: 9241349
Wafer inspection system
E+ Station
Pre-aligner station
(2) Send cassettes
ASC 2000 System controller
Options:
(3) Receive cassettes
Hi Res station
Lo Res station
Dual end effector robot
Light curtain.
ADE/KLA/TENCOR 9600是一種最先進的晶圓測試和計量設備,設計用於精確測量晶圓級產品的電氣特性。ADE 9600系統采用了先進的基於光束的顯微鏡技術和局部光學單元,可實現高度精確、可靠的測量。該機器為晶片級測試和測量電阻、電容、晶體管特性等電氣參數提供自動映射。KLA 9600利用專有的基於圖像的像素分析技術,實際上消除了由於錯誤對齊和失真而造成的系統錯誤。其硬件包括雙軸掃描儀、兩個雙光束顯微鏡和一個CCD成像工具,以實現卓越的成像性能,使電子參數的亞微米分辨率跨越晶圓。該資產還與高級軟件套件集成在一起,提供全面的圖像處理、映射、分析和診斷功能。該模型以自動化的方式運行,在整個測試和檢查過程中提供了完整的可追蹤性,包括訪問整個晶圓的實時數據。主動校準設備可確保精確的測量,而獨特的基於配方的數據管理使TENCOR 9600能夠快速適應不同的處理條件。9600提供了無與倫比的準確性和可靠性,以幫助滿足現代晶圓技術不斷變化的需求。它獲得專利的邊緣跟隨技術能夠進行亞微米公差和精確邊緣檢測的測量,以進行晶圓邊緣夾雜測試。其獨特的外部校準能力確保無論溫度如何都能得到一致的結果。它靈活、可擴展的體系結構允許升級和定制,使其成為晶圓特性的理想工具。簡而言之,ADE/KLA/TENCOR 9600是一種先進的、高度精確的晶圓測試和計量系統,旨在提供可靠的電氣參數測量,以滿足現代晶圓技術的需要。憑借其強大的功能和技術,ADE 9600為持續的測試和驗證過程提供了無與倫比的性能和準確性。
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