二手 ADE / KLA / TENCOR 9800 UltraScan #9046074 待售
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已售出
ID: 9046074
Wafer characterization system, 8"
ULTRASCAN 9800 Flat top standard base system:
Wafer Size 6" and 8"
High Accuracy Noncontact Prealigner
E-Squared Advanced/Thickness, B/W Station
May accommodate up to 5 cassettes
Auto A Probe included
Advanced System Controller 2000 and Accessories: UPS (uninterruptible power supply)
System Software and Operating System: SCO 5.0 UNIX System
Included:
Part No. 9300-DEET
Robot Dual End Effector Teflon Coated - 135°
Part No. 7800-150-ASC2K
Standard ASC Software for ASC2000
Part No. 7800-180
15" ViewSonic Flat Panel Monitor
(2) Part No. 9300-36ND
Send "Universal" cassette station
(3) Part No. 9300-37ND
Receive "Universal" cassette station
Part No. 7800-6HZ
System configured for 60 HZ
Part No. 7820-220
Line Conditioner and Transformer, 4.8 kVA
Input Voltage: 220 V 50/60 HZ
Input: 9 Foot Linecord with L14-30P Plug
Output: (1) L14-30R Receptacle
Part No. 025106-01
Topside Non-contact type
N or P type wafers
Resistivity 0.1 to 200 ohm-cm
Part No. 444001 ReportTools
Part No. 9300-57EMI
High Range EMI, High-Accuracy
Resistivity Station
(0.200 - 199.9 ohm/cm)
Robot error when attempting to run calibration
Currently installed
2004 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 9800 UltraScan是一種臺式機晶片檢查和計量設備，執行各種測試以評估半導體晶片的質量和特性。該系統提供高精度的分析和計量能力，以確定晶圓的結構特性。可以進行各種測試，包括對汙染物和缺陷進行掃描，表征形狀和尺寸，測量電氣性能，分析統計過程控制數據以減少產量變異性和制造時間。ADE 9800 UltraScan具有多種功能,使其能夠快速準確地檢查半導體晶圓。它配備了自動化晶圓處理單元，以確保快速的樣品交換能力。它還具有先進的成像和光學功能,可以非常詳細地查看晶片的表面。此外，該機經過優化，以支持多種分析技術的一系列應用，包括掃描電子顯微鏡和共聚焦顯微鏡成像。機器還配備了多種功能，方便晶圓檢測。它具有分析能力，能夠識別晶片上的汙染物和缺陷，並驗證表面光潔度質量。它還具有詳細的檢查和計量功能來測量晶圓形狀和尺寸的臨界電荷,如螺距、邊緣輪廓和半徑。此外,KLA 9800 UltraScan還具有強大的統計過程控制（SPC）套件,用於生成SPC圖表和控制圖表,以監控生產產量並識別制造違規行為。該機還具有用於遠程機器控制和數據共享的高級聯網能力。它具有用於將控制器連接到本地或廣域網的以太網端口,以及用於與其他系統集成的應用程序編程接口。這使得9800 UltraScan能夠部署在工廠自動化和數據管理系統中。總體而言，TENCOR 9800 UltraScan是一款功能強大、精度高的晶圓測試和計量機器。它提供了多種功能,包括高級成像和光學、自動晶片處理、分析功能、詳細的檢查和計量功能,以及功能強大的SPC套件。此外,它還具有用於遠程控制和數據共享的高級聯網功能。這使得它成為評估半導體晶片和監測產量的理想選擇。
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