二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645322 待售
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一種晶圓測試和計量設備,設計用於提供與半導體晶圓的電氣、光學和機械特性和性能有關的多個參數的可靠和準確的測量。該系統能夠一次測量多達32個晶片,從而實現晶片測試和分析的高吞吐量。該設備在Windows 10上運行,具有21英寸顯示屏,便於安裝和操作。可以選擇軟件包來擴展機器可以處理的測量範圍,使其能夠覆蓋更廣泛的應用程序。它包括一個集成顯微鏡和三個測量頭,提供對晶片表面的完全訪問。ADE AFS 3220配備了高分辨率成像工具,允許精確測量表面拓撲和汙染程度、線寬、臨界尺寸和叠加保真度等參數。它的自動模式識別使資產能夠檢測模式,從而便於自動校準和確認測量。它還能夠測量近距離公差裝置結構和其他更復雜的設計。該模型的測量精度優於10nm,甚至適用於亞微米級工藝技術。KLA AFS 3220融合了ADE、KLA和TENCOR的多種技術。它基於具有晶圓卡盤、精確XY級和業界領先的控制設備的計量體系結構。它具有用於精確成像的高功率激光共聚焦分析系統,以及用於電氣測量的精確可靠的渦流傳感器。配備高分辨率RGB成像單元和隔振光學器件,進一步提升測量精度。AFS 3220設計用於各種基板和應用。它的模塊化和可擴展性設計使它能夠集成到各種生產環境中,提供可靠和準確的測量,而不管生產批量的大小如何。它還配備了標準的安全功能,以保護操作員和機器,使其適合24/7晶圓測試和檢查操作。
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