二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645326 待售
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220晶圓測試和計量設備是一個強大的系統，結合了先進的圖像檢查、完全集成的計量和自動化晶圓處理技術，能夠評估各種晶圓參數。憑借其獨特的「雙能」成像和先進的計量系統，ADE AFS 3220被用於半導體制造業，用於識別和測量矽基板上粒子、顛簸和其他缺陷的均勻性。該單元是同類設備中的第一個，采用獲得專利的雙能成像技術設計，能夠一次捕獲兩個圖像，每個圖像代表不同的波長光譜。這允許對晶片表面上的粒子、顛簸和其他不規則性進行詳細的分析，以及跨相似基板進行有效的比較以識別任何差異。KLA AFS 3220還具有先進的計量能力，能夠精確測量和表征晶圓表面上的粒子、顛簸和其他不規則性。這包括能夠測量特征的大小、形狀和位置,以及能夠生成數據以顯示晶圓表面的變化。該機器還包括利用直觀圖形用戶界面的自動晶片處理工具和能夠從AFS 3220裝卸晶片的自動機器人。這樣可以確保以安全、安全和高效的方式處理晶片,從而減少停機時間並提高檢查過程的總體速度和準確性。AFS 3230的設計具有高吞吐量和經濟效益,在單一、獨立的資產中提供準確可靠的結果。該模型能夠以可重復和一致的方式自動檢查各種基板上的不規則性和缺陷、分類和測量顆粒、顛簸和其他不規則性。通過將先進的成像和計量功能與自動晶圓處理設備相結合,TENCOR AFS 3220為半導體制造商提供了最佳解決方案,使其生產線保持最高的質量和效率。
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