二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645328 待售

ID: 293645328
晶圓大小: 12"
優質的: 1999
Wafer inspection system, 12" 1999 vintage.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是針對半導體器件和材料表征進行優化的高性能晶圓測試和計量設備。該系統具有獲得專利的自動加載和卸載功能,可方便地處理直徑達8英寸的晶片。采用全自動對焦穩定(AFS)技術,在晶圓參考和計量操作期間,即使晶圓的位置發生變化而無需手動調整,設備也會自動保持穩定對焦。ADE AFS 3220機器為用戶提供了許多功能強大的計量功能,從頂部和底部表面掃描和成像功能開始。該工具采用的先進光學技術比傳統方法提供了更高的精度和準確性,提高了測量的可重復性。憑借其高分辨率掃描,用戶可以檢測到微缺陷和成像偽像,可以大大減少晶圓浪費。對於缺陷/粒子檢測、傳統的CD計量學以及其他自動計量學操作,先進的軟件算法確保快速獲得高度準確的結果。除了其無與倫比的性能外,KLA AFS 3220晶圓測試和計量資產還提供了廣泛的其他功能和優勢,例如,專門設計的自動缺陷審查模型,使用戶能夠快速準確地識別和鑒定缺陷。該設備還具有可定制的測試配方,可根據所采樣的產品類型定制系統參數-這有助於提高產量和吞吐量。TENCOR AFS 3220的其他特點包括高精度測量的超低噪聲設計和綜合晶圓配準、子像素對準、缺陷檢測與鑒定的先進視覺單元。最後,AFS 3220晶片測試和計量機為器件和材料的表征提供了一種高效可靠的解決方案。該模型具有上下表面掃描、先進的聚焦穩定技術、自動化缺陷審查工具、可定制的測試配方、超低噪聲設計以及先進的視覺資產,旨在為用戶提供一致準確的結果。
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