二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645333 待售
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220晶圓測試和計量設備是一個自動化的半導體計量系統，設計用於生產過程中晶圓的自動化、高通量監測。該單元是一個完全集成的自動工具平臺，由先進的算法和軟件加上自動晶圓處理機設計而成。ADE AFS 3220設計用於晶圓的快速精確測量。該工具具有多傳感器光學計量、過程動力學和缺陷檢測、數據管理以及多個晶圓的相關性。KLA AFS 3220利用多個傳感器在短時間內同時測量晶圓全表面的晶圓參數。點對點掃描可在可見光譜和紅外光譜中使用，精度可低至10納米。晶圓映射也可與自動晶圓居中配合使用。晶圓上的缺陷可以以每小時幾千的速度檢測到。AFS 3220具有多項高級流程控制和診斷功能,如集成缺陷審查、流程反饋和流程監控。這樣可以在給定批次中快速自動化生產過程並提高產量和節省成本。此外,數據管理資產還提供全面的晶圓計量數據,並可集成到工廠自動化系統中。TENCOR AFS 3220具有直觀的用戶友好界面,具有各種圖形顯示,可用於數據查看和分析。這樣可以方便地訪問模型參數和深入審查結果。該設備還配備了車載自我診斷和自動校準程序。總體而言，ADE的ADE/KLA/TENCOR AFS 3220晶圓測試和計量系統是一個完全自動化和集成的單元，旨在對生產過程中的晶圓進行準確、快速和無DRAM的監測。該機包括多傳感器光學計量、工藝動力學與缺陷檢測、數據管理、多晶圓相關性、自動化校準例程等幾個集成組件，使其成為高效廠商的絕佳選擇。
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