二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293660055 待售

ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一種用於計量和晶圓檢驗的高端晶圓測試和計量設備。該系統由多通道激光剪切幹涉儀和三維激光表面剖面儀組成。它有64個激光通道，用於晶片和模具表面地形的測量和成像。ADE AFS 3220還提供了一系列軟件應用程序來提供表面數據分析和晶圓檢查。KLA AFS 3220的激光剪切幹涉儀設計用於使用兩個激光器和一個分裂光束測量樣品的表面高度。這樣可以在廣泛的曲面上進行高度精確的測量。3 D激光表面剖面儀使用高分辨率掃描單元提供樣品表面的詳細視圖。它可以在200毫米範圍內以亞納米精度檢查地形。AFS 3220還有幾個用於數據分析和晶圓檢查的軟件應用。其中包括WaferMap™，這是一個軟件包，用於自動分析晶圓地形和缺陷檢測。另一個工具Deformetrica™設計用於測量和分析樣品在三個維度上的表面高度。此外，它還能檢測和分析樣品表面的圖樣，表明晶圓存在缺陷。TENCOR AFS 3220是一種功能強大的晶圓測試和計量機器，用於對晶圓和模具表面進行高度精確的測量。ADE/KLA/TENCOR AFS 3220采用激光剪切幹涉儀和3D激光表面剖面儀,提供了表面地形的詳細視圖,可快速檢測和表征晶圓缺陷。此外，它的軟件套件還提供樣品表面高度和圖樣測量能力的自動化分析。ADE AFS 3220共同為晶圓測試和計量提供了完整的解決方案。