二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293757402 待售
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一種晶圓測試和計量設備，為晶圓正面和背面的應用特定測量提供2D和3D數據的高分辨率。該系統旨在檢測半導體晶片上的表面缺陷，以及測量各種輪廓和臨界尺寸參數。此單元可通過獨立的X軸和Y軸舞臺運動實現陣列化測量,並利用高速、高分辨率的成像機,該機結合了自動聚焦、模式識別和缺陷檢測工程,生成X軸和Y軸分辨率高達5 µm的2D圖像和3D表面圖像。該工具還具有10英寸鏡面和電動Z軸舞臺升降機資產來捕獲數據,以及一個完全可編程的5位集成照明模型,使用UV、Visible和IR光源,從而能夠準確分析反射率和表面特征。高度自動化的設備還具有高級缺陷審查和分類工具,這些工具可實現缺陷分析、分類和識別。此外，系統還包括ADE Process Monitor（KPM），提供實時數據分析和性能監控。KPM能夠確定缺陷的原因,並能夠及時采取糾正措施和提高產量。最後,ADE AFS 3220提供了一個集成的環境,用於檢測、審查和分類缺陷,以及測量陣列化2D和3D曲面輪廓上的參數。該單元在Windows 10平臺上運行,允許輕松定制缺陷審查和測量參數以滿足特定需求。KLA AFS 3220具有多種選擇,是一種有效可靠的晶圓測試機器,用於評估和比較高容量和低容量部件。
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