二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293757418 待售

ID: 293757418
Wafer inspection system.
ADE AF S3220是半導體行業的高性能晶圓測試和計量設備。該系統利用前沿成像和計量技術對晶片和其他半導體器件進行檢查、測量和分析。ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一種自動高速裝置,在閉環反饋控制機上運行。這一過程確保以納米級精度精確測量晶圓和薄膜層的表面。該工具能夠測試直徑最大為8英寸(203.2毫米)的晶片。此外,ADE AFS 3220具有20毫米至450毫米的可配置視野。KLA AFS 3220采用先進的成像和計量技術進行精密晶圓測試。這包括相位編碼去聚焦(PCD),它精確測量晶圓特征並產生高對比度圖像。高速快門掃描用於快速獲取深度三維圖像。掃描電子顯微鏡(SEM)提供了電子束下表面地形的詳細視圖。此外,化學銑削還啟用了地下計量功能,通過顯微鏡檢查加工的橫截面是否存在潛在缺陷。AFS 3220資產還具有若幹高級功能,可實現高效的測試和分析。這包括一個在線缺陷審查模型,它允許快速、高效地審查潛在缺陷。自動進行缺陷分類和檢測,最大限度地減少人員在例行人工檢查中花費的時間。此外,模具識別設備還能夠對模具模式進行視覺識別。總之,TENCOR AFS 3220晶圓測試和計量系統是一種可靠、高效的半導體測試解決方案。該單元將前沿成像和計量技術與高級功能相結合,包括相位編碼脫焦、高速快門掃描和在線缺陷審查。此外,ADE/KLA/TENCOR AFS 3220具有可配置的工作範圍,可容納各種類型的晶圓和尺寸。ADE AFS 3220是半導體制造商必不可少的工具,提供高效可靠的晶圓測試和計量能力。這臺機器的特點和特點相結合,使其成為對晶圓和其他半導體器件進行高精度測試和分析的可靠工具。
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