二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293771675 待售
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一種半自動晶圓測試和計量設備，設計用於測量半導體材料的物理、電氣和光電特性。該系統提供視覺檢查和自動缺陷分類、晶圓映射和電阻測試，以及用於晶圓表面和背面檢查的集成光學成像站。ADE AFS 3220包括一個光學顯微鏡，帶有可編程的橋和150毫米雙頭可操作性，能夠對晶圓兩側進行高精度檢查。高分辨率偏振光和反射檢查選項有助於分析氧化物和CARI及其他材料。該單元還包括最多四個測量時檢查（MWI）激光二極管，半導體器件快速電氣測試最流行的工具之一。這種高精度、集成的機器提供準確、可重復的設備參數讀數，並能夠高速電氣定位缺陷。該工具中包含一個攝像頭工作站,用於啟用參數計量、圖像分析和實時缺陷掩蔽。自動缺陷分類（ADC）允許用戶根據特性快速定位和分類缺陷，而晶圓映射功能則提供了晶圓結構和數據模式的即時概述。晶圓映射可應用於部分和全高晶圓。KLA AFS 3220旨在滿足業界對運營、可靠性和資產集成的最高要求。其強大的組件和軟件旨在確保最大的數據準確性和模型穩定性。它具有直觀、用戶友好的界面,需要最少的維護和培訓。它具有多種工具訪問和選項功能,可以針對從單用戶解決方案到多用戶解決方案的各種特定於客戶的應用程序進行配置,而它的可擴展性使其成為一項投資,隨著時間的推移它將繼續產生結果。TENCOR AFS 3220晶片測試和計量設備被設計為一種集成解決方案,可滿足您對自動晶片檢查、缺陷分類和電氣測試的所有需求。該系統能夠最大限度地提高生產產量、準確性和節省成本,並提供開發和生產先進微電子所需的完整、一致的信息。
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