二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #9055341 待售

ADE / KLA / TENCOR AFS 3220
ID: 9055341
Wafer surface measurement system.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220晶圓測試計量設備是一套用於半導體加工現狀的綜合工具。它設計有一個非常高效和準確的檢測系統,用於檢測晶片中的缺陷,降低成本和提高產量。ADE AFS 3220單元包含若幹組件,如高級缺陷審查機、自動表面表征工具、自動焦點識別資產,以及用於測量關鍵參數的若幹自動控制系統。先進的缺陷審查模型使用大量的攝像頭來檢測和分析測試晶片表面的缺陷。它能夠識別幾乎所有可能的缺陷,從小缺陷到大缺陷,如劃痕、顆粒、汙染、印刷錯誤的特征、對齊差異、不完整的重復結構以及其他與工藝有關的問題。它還提供了缺陷嚴重程度及其在晶片上的位置的詳細分析。自動化表面表征設備用於測量臨界晶片表面參數,如表面粗糙度、平坦度、均勻性、附著力和表面損傷。該系統能夠測量和提供與晶圓的電氣、機械和化學性質有關的不同參數的精確值。自動焦點識別單元自動調整晶圓的焦點,以確保精確的測量。它還能夠提供實時反饋,使機器能夠跟上半導體制造快速變化的步驟。除了這些部件外,KLA AFS 3220工具還有幾個自動化的控制系統,用於測量溫度、濕度、壓力等各種參數。這些控制系統使操作員能夠保持安全和一致的環境以進行處理。TENCOR AFS 3220資產是一種用途極為廣泛的模型,旨在檢測和分析晶圓表面的各種缺陷和特性。可用於缺陷檢測、工藝控制、屈服增強等眾多應用。它的自動化組件確保準確、高效和快速的缺陷檢測和分析,從而提高產量並降低成本。
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