二手 ADE / KLA / TENCOR CR81e #293771795 待售
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ID: 293771795
優質的: 2003
Wafer inspection system
(4) Cassette stations
BROOKS AUTOMATION Load SMIF Robot arm
BROOKS AUTOMATION Unload SMIF Robot arm
KENSINGTON Robot with controller
Inspection stage with optical module
Vacuum: 21 SCFH at 26" Hg
CDA: 81 PSI, 200 cu in/hr min
General exhaust: 4" Duct, 400 CFM
SSL Laser
PSL Calibration
Particle sensitivity:
120 nm LSE
105 nm LSE
Spare parts for CR81e:
Part number / Description
12051137 / LAMBDA Power supply box
12051333 / Dark R268PMT group
12051134 / Bright channel light vacuum tube
12058488 / Air pressure
12051338 / Dark channel arc mirror
12051339 / Focal lengh lens 100MMFL 25.4 mm
12051340 / Robatic arm set
12051513 / Standard wafer supporter
122052995 / PMT Air traffic controller 0092493-001
120562228 / Collection group 398-20281-1
12058498 / KENSINGTON Arm tip
12058499 / KENSINGTON Edge alignment chuck
12114222 / 68060 array processing board 398-20406-1
12114223 / Bright channel analog board CH-0398-20883-1
12114226 / Bright channel analog board CH-1398-20884-1
12114227 / HAZE Tablet 398-20705-1
12114228 / Daek channel X-Axis plate (12BIT) 398-20733-1
12115229 / Bright channel X-Axis plate 398-20630-1
12114231 / Bright channel X-Axis plate CH-1398-20706-1
12114232 / Origin of the pulse plate 398-20841-1
12149175 / CCD Signal transmission board, Robatic arm, 03142
121499223 / CCD Brush, Robot arm, 031409-27
12178367 / Oppsosite signal receiving board, 031409-08
Power supply: 208 VAC, 30 Amps, 47-63 Hz, 3 Phase
2003 vintage.
ADE/KLA/TENCOR CR81e是為半導體工業設計的先進晶圓測試和計量設備。它提供了一整套用於表征和分析半導體晶片的功能,以確保在其上產生的集成電路（ICs）的最高質量和性能。ADE CR81e是一種高度先進的工具,它集成了各種測量技術,為半導體制造過程控制和產量管理提供準確可靠的數據。KLA CR81e系統的主要特點之一是能夠對半導體晶片進行無損檢測。這意味著該單元可以分析晶片的特性而不會對其造成破壞，讓制造商最大限度地減少材料浪費，降低成本。機器使用光學、電氣和物理測量技術相結合，評估晶片的關鍵參數，如厚度、地形、缺陷密度和電氣性能。TENCOR CR81e配備了先進的成像能力，包括亮場、暗場和共聚焦顯微鏡，以可視化高分辨率晶片的結構和形態。這允許用戶精確、精確地檢查晶片上存在的表面質量、圖案均勻性和缺陷。該工具還具有自動圖像分析算法,可以快速處理大量數據以識別和分類缺陷,以便進一步分析。除了成像，CR81e還利用先進的光譜技術，如光致發光和拉曼光譜，分析晶片的化學成分和晶體結構。這些技術提供了有關晶片中存在的材料特性、摻雜劑濃度和結構缺陷的寶貴信息，這對於評估在晶片上制造的半導體器件的質量和可靠性至關重要。資產可以進行快速和敏感的測量，以檢測晶片組成和結構的細微變化，使制造商能夠優化其工藝，以獲得更好的性能和產量。此外，ADE/KLA/TENCOR CR81e采用先進的計量工具，如原子力顯微鏡（AFM）和橢圓偏振法，以納米級精度測量晶片的物理尺寸和光學性質。這些工具使用戶能夠表征晶片的表面粗糙度、薄膜厚度和折射率，這對於控制半導體制造中的層沈積和蝕刻過程至關重要。該模型可以生成晶圓屬性的詳細2D和3D映射,從而提供對可能影響設備性能的過程變化和缺陷的寶貴見解。總體而言，ADE CR81e是一種綜合性晶片測試和計量設備，為半導體制造商評估其晶片的質量和可靠性提供了廣泛的能力。其先進的成像、光譜和計量技術使晶片的特性能夠精確表征，有助於優化制造工藝，提高器件性能，提高半導體產量。KLA CR81e是半導體制造質量控制和工藝優化的有力工具，使其成為確保先進半導體器件在市場上成功的不可或缺的資產。
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