二手 ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9157018 待售

ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035是為了最高效率、準確性和可靠性而設計的高性能晶圓測試和計量設備。它提供了從0到6035埃的電氣和光學參數的晶圓級測量,並提供了對晶圓性能的詳細了解,使制造商能夠更好地了解其產品。該系統包括可伸縮雙軸反射計（ARDER），用於直排反射率測量；用於晶圓標準頂部和側面視圖的自動晶圓映射顯微鏡；以及用於測量和分析的高級彩色成像和亮度數據。它使用戶能夠靈活地處理集成電路（IC）和非IC測試件,這要歸功於它對6.035 nm的晶圓頻譜的全面覆蓋。ADE MicRhoSense 6035具有高達230dBs的高動態範圍，以及5mm的最小線寬，適用於測量具有狹窄特征、細線、薄層的模具。此外,該設備還可以處理多種材料,具有較高的吞吐量,並提供可靠的校準和驗證。它配備了自動增益和偏移校正算法，以提高準確性和可重復性。機器還具有內置的自測（自動缺陷檢查）功能，可用於自動化的過程中診斷。KLA MicRhoSense 6035具有高度可定制性,提供多種選項,例如用於數據評估和分析的高級軟件,以及各種附件,如分束器和偏振器,以及各種微觀檢查和計量工具。該工具設計效率最高，精度最高，適用於晶片生產中的各種應用，如故障分析，以及過程控制、缺陷檢測和鑒定。該資產為生產和工程團隊以及半導體公司和晶圓制造設施提供了全面的解決方案。