二手 ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301379 待售

ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035是一種先進的晶圓測試和計量設備。它能夠產生高度精確的測量結果，這是半導體設施晶圓制造工藝的關鍵。該系統采用模對數據庫體系結構，可以直接比較測量結果與參考光掩碼和各種半導體工藝節點之間的關系。這樣可以確保晶片制造工藝達到最高精度標準。ADE MicRhoSense 6035包含多個設計元素以確保準確性,包括高級模式識別功能和自動閾值。這種模式識別利用專有算法來確定存在缺陷的類型，如短路或開路，然後定義缺陷相對於參考光掩碼的位置。這允許單位精確測量給定缺陷的參數，如高度或面積，並執行各種類型的缺陷分析。KLA MicRhoSense 6035還設有專門的對齊機。該工具使用高精度光學和精確運動和旋轉級，以確保晶片相對於參考光掩模的精確定位。這使得精確的測量能夠以可重復的精度進行。此外，該資產還具有超短波長激光計量技術，用於高精度測量臨界尺寸。這對於評估晶片產量和可重復性至關重要。MicRhoSense 6035使用了幾種檢查模式，以確保結果的最大精度。這些包括輪廓映射、缺陷檢測和故障隔離、晶圓映射和類缺陷分析。這些模式是在軟件算法中實現的，這些算法能夠進行比傳統檢查系統精確得多的測量。最後,TENCOR MicRhoSense 6035具有直觀的用戶界面,可以快速輕松地設置和校準模型。此外,設備還可以訪問大量的設置參數庫,這些參數庫可根據特定制造商的需要進行定制。這使用戶能夠最大限度地提高準確性並最小化設置時間。所有這些功能結合起來，提供了一個全面的晶圓測試和計量系統，能夠處理最苛刻的半導體制造過程。