二手 ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301390 待售

ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035是一款功能強大的晶圓測試和計量設備，旨在實現半導體制造業的過程控制。該系統能夠快速檢測和分析晶片上的缺陷,同時提供對工藝層特征大小的精細粒度分析,無論是在沈積過程中還是在制造過程的後期。該單元由一個專門的自動光學顯微鏡（AOM）組成，該顯微鏡提供圖像捕捉和手動測量，具有高達10倍至100倍的變焦功能，並為不同的層提供各種濾鏡。一臺先進的自動聚焦機能夠聚焦在表面1 um以內的層上,並且刀具可以處理從1「、2」、3「到12」不等的晶圓尺寸。資產的用戶界面非常直觀，易於使用。該軟件為自動測量提供了一個簡單的設置,例如跨多個模具或層的特征大小、缺陷密度、叠加和CD,以及按類型分類的缺陷。軟件的可編程性質還允許自定義跟蹤數據收集和分析、缺陷阻抗校正和高級算法。該模型還具有缺陷審查站,它允許使用3D輪廓和叠加測量對缺陷進行更詳細的分析。此外,SmartRing分析還可用於比較流程實踐、診斷結果和采取糾正措施。綜上所述，ADE MicRhoSense 6035為晶圓測試和計量提供了強大的平臺。先進的自動對焦、缺陷分類和跟蹤數據分析功能使缺陷檢測和工藝層審查能夠快速準確。該設備具有直觀的用戶界面和強大的缺陷審查功能,可確保高效、精確的過程控制。