二手 ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301392 待售
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ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035是一種精密的晶圓測試和計量儀器,設計用於晶圓制造的大批量生產和質量保證。它采用緊湊的模塊化設計,占地面積小,樣品準備要求最低。該設備圍繞一個先進的圖像處理子系統構建,該子系統可快速識別晶圓缺陷,如劃痕、顆粒和表面缺陷。它還執行無損3 D計量測量,具有可自定義的采樣點和高精度級別。ADE MicRhoSense 6035配備了集成的機器人系統,可實現自動導航和樣品處理。該單元還配置用於高容量晶片加載,具有左右進料操作和減振樣品支架。這樣可以確保樣品的運輸和處理速度極快,而且精度極高。KLA MicRhoSense 6035的缺陷檢測功能部分由其集成智能成像平臺驅動。這個創新的軟件引擎使用先進的算法來實現自動粒子檢測,並分析平面和圖樣樣品的晶圓損傷。此圖像處理子系統可根據個別用戶需求進行配置,並能夠識別各種缺陷,如周期性缺陷、持續缺陷和隨機缺陷。MicRhoSense 6035還具有激光散射陣列,用於晶圓表面地形的高速、非接觸式3 D映射。這樣可以精確測量平面紋理和復雜結構化曲面的噪聲級別非常小。這臺機器還針對高吞吐量操作進行了優化,估計每個樣品的采集時間為50秒。最後,為了提高工作效率和易用性,TENCOR MicRhoSense 6035與自動ADE軟件平臺兼容。這些功能允許在單個平臺上輕松集成和操作,其軟件工具具有高級計量算法,可用於快速、準確的數據分析。這些功能以及成本效益確保了ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035是一個功能強大但用戶友好的測試和計量解決方案,可滿足任何晶圓制造需求。
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