二手 ADE / KLA / TENCOR Microsense 4830 #9239558 待售

ID: 9239558
優質的: 2007
System 2007 vintage.
來自ADE、KLA和TENCOR的ADE/KLA/TENCOR Microsense 4830晶圓測試和計量設備設計用於晶圓尺寸和底層的精確、大體積測量。該系統提供了多種工具來測量晶圓厚度、平坦度、粒徑和其他深度特征。ADE Microsense 4830單元的核心是超精確非接觸測量技術。使用這種方法,傳感器可以讀取精度低至0.1微米、分辨率小至1納米的數據。這種測量技術以光學相移幹涉法為基礎,利用激光精確測量晶圓表面。此外,這臺機器還能檢測到微粒,測量微粒大小,從0.1微米到500微米。KLA Microsense 4830工具設計用於掃描半導體晶片的整個表面。該資產可以處理200 mm以下的晶片,而無需手動調整。它還有一個可靠的校準程序,用於每次精確的晶圓測量。除了測量精度和精確度外,TENCOR Microsense 4830模型還集成了用於有效晶圓計量的計量過程。這種設備允許用戶分析晶圓的底層,不需要額外的調整。該系統為底層提供精確的3D地形,可以收集2納米範圍內的深度數據。Microsense 4830單元是一個包括各種工具和配件的多合一包。該機器包括用於控制測量參數的軟件,以及廣泛的晶圓測量工具庫。該工具還包括晶圓測量站、樣品掃描臺和附件。ADE/KLA/TENCOR Microsense 4830資產是一種先進的晶圓測試和計量模型,可提供精確、大容量的測量。該設備具有非接觸式測量和廣泛的3D地形功能,是半導體和電子制造商的寶貴工具。
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