二手 ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033 #9269080 待售
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ID: 9269080
Wafer measurement system
For wafer thickness
Approximate granite fixture, 8"
With large anvil style table
To hold small / Large substrates.
ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033晶片測試計量設備是一種用於半導體晶片無損評價的精確儀器。利用精確的光學掃描技術,對晶圓厚度、地形、表面、材料成分和折射率進行精確測量。該系統能夠測量十幾個臨界參數,包括平均薄膜厚度、標準差、層可重復性、薄膜速率、平整度和粗糙度。ADE Microsense 6033具有強大的低功耗照明源,用於一致的高分辨率測試和計量。該光源以圖樣投射激光微束穿過樣品晶片,以便精確測量圖樣內的每個點。這種獨特的模式有助於確保測試結果的可重復性和統一性。此外,該單元還配備了先進的晶圓調整器,可精確測量整個表面的樣品晶圓曲率、厚度和粗糙度異常。此功能可確保在評估過程中進行準確和精確的測量。KLA Microsense 6033還具有光學、電子和軟件的集成機器。這包括內置CCD相機、數字圖像采集和信號處理能力,從而導致快速、準確的無損晶圓測試和測量。該工具為用戶提供了一套全面的數據分析工具,包括二維圖形顯示、直方圖和表格數據集。這項資產在半導體行業有許多實際應用。它可用於快速晶片檢測、摻雜映射、標記模式檢測、快速故障分析、過程審核和晶片表征。以其易用性、先進的特性和高精度的測量,強烈推薦使用Microsense 6033。其廣泛的探測操作電子控制和成像功能為用戶提供了自信地識別和解決關鍵問題所必需的工具。在許多行業領先的SEM、晶圓制造商和測試專業人員中,該模型已被證明是一個有價值的工具。
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