二手 ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033 #9301382 待售

ID: 9301382
Wafer measurement system.
ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033是先進晶圓技術中材料表征和自動化計量解決方案的綜合系統。該系統由基於激光幹涉測量的掃描儀、一個處理單元以及一系列用於控制和測量晶圓測試參數的附加附件組成。激光幹涉測量掃描儀是專門為提供高精度測量,其專利的高分辨率矢量光傳感器。它可以快速分析各種地形數據,包括步高、表面粗糙度和平坦度。處理單元包含兩個高分辨率圖像傳感器、兩個數字信號處理(DSP)單元和兩個獨立的16位算術處理器,用於增強數據處理。它還具有用於實時圖像分析的四通道數字圖像處理器,以及高達32GB的內存存儲容量。附加的附件包括易於高度調節的多級伸縮頭、用於數據可視化的高分辨率彩色液晶顯示屏以及用於快速數據采集的高速數據傳輸能力。為確保準確性和可重復性,系統在其軟件中采用了專利的多通道算法(MPA)進行自動數據收集。MPA在一次掃描中編譯來自多個通道的數據,以確保最高的準確性。優化的掃描速度可確保快速分析,而不會影響數據的質量。此外,該設備還設計了多種功能來保護正在測試的樣品,例如防振安裝腳和一個特殊的塵埃室,以減少灰塵對數據的影響。ADE Microsense 6033有一系列的應用,從表征半導體晶片到測量任何復雜表面的表面汙染。也可用於測量基板上的介電層、氣層、液層厚度。KLA Microsense 6033具有高精度、快速掃描速度和先進的特性,非常適合計量測試,被證明是最可靠的晶圓測試和計量系統之一。
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