二手 ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033T #9281713 待售

ID: 9281713
晶圓大小: 12"
Wafer thickness system, 12".
ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033T是一種晶圓測試和計量設備,其設計目的是在晶圓制造過程中測量薄膜厚度和臨界尺寸時實現高精度和高精度。該系統在整個晶片表面提供高分辨率、無損的薄膜結構計量,而無需額外的、昂貴的光學顯微鏡。這樣可以進行更可靠、更快的晶片測試和測量,最終提高晶片制造工藝的產量和生產率。該單元是建立在一個硬化,閉環自動平臺,確保快速和準確地實施最新的測量技術。該機器結合了高光學分辨率和數字圖像處理器,以便在晶圓表面上提供詳細的地形圖。這樣,即使是最小的特征也可以進行精確的可視化和分析,並可以快速準確地進行測量。該工具配有兩個信號束和兩個探測器陣列,以實現最大的定義和準確性,同時測量各種基材材料和應用的相對範圍。組合的信號束和探測器陣列允許每秒超過10,000次測量。這使得它成為高級IC和WLP結構的理想計量工具。借助用於監控性能和檢測故障的板載軟件,資產可以持續監控自身性能並根據需要進行校正,以確保準確的吞吐量。ADE Microsense 6033T還具有許多用戶友好的功能,便於設置和操作。這包括自動對準例程,以確保模型傳感器的準確指向,以及基於GUI的簡單操作員界面。它還帶有許多不同的模式,如區域掃描、掃描轉換、邊緣跟蹤和線路跟蹤。它們提供了靈活性並加快了周期時間測試和測量。總體而言,ADE的KLA Microsense 6033T是一種高精度晶片測試和計量設備,設計用於對晶片表面的薄膜結構進行快速、準確和可靠的測試和測量。該系統提供了速度、精度和靈活性的完美結合,使其成為一系列晶圓制造應用的理想選擇。
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