二手 ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033T #9301384 待售

ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033T是用於半導體制造過程的晶圓測試和計量設備。它是一個高度精確的自動化系統，能夠用納米分辨率測量細線寬和晶圓缺陷。ADE Microsense 6033T是一個由多個組件組成的集成計量平臺。它具有最先進的先進Hexa-LEXSR白光幹涉儀、全自動晶圓映射器和指示器以及增強的3D角度查看器。它采用精密機器人運動控制、亞微米編碼器和低噪聲立體變焦顯微鏡。這種特征的組合可以在微觀層面上有效地檢測和分析孤立的和參數化的缺陷。該設備在控制自動晶圓映射器和處理器的英特爾機架安裝處理器上運行。它配備了可編程邏輯控制器（PLC）電路內測試儀，以及用於精確電機控制的精密直流伺服電動機。為了正確測量晶片,機器使用Hexa-LEXSR幹涉儀和3D角度檢視器作為其光學傳感器。黑白光幹涉儀允許精確、低噪聲的測量，而3D角度的觀看器可以揭示晶圓各層的隱藏缺陷，並能夠捕獲參數缺陷。為了分析晶片缺陷，KLA Microsense 6033T采用了五種不同的算法：一種定位表面缺陷的聚焦算法；四種圖像處理算法檢測缺陷；以及用於分析細晶粒缺陷的邊緣檢測算法。一系列板載數據采集板使工具能夠以極高的速度和準確性積累大量信息，並查明缺陷的位置。顯微6033T是一種廣泛用於測量晶圓缺陷的強大設備。憑借其多方面的設計和高精度的工具，該資產能夠為半導體行業提供準確可靠的晶圓分析，最大限度地提高工藝生產率和生產精度。