二手 ADE / KLA / TENCOR MicroXAM #9181335 待售

ADE/KLA/TENCOR MicroXAM是一種綜合性晶圓測試和計量設備,旨在應對當今日益復雜的計量和缺陷檢測挑戰。該系統結合了前沿光學、自動化和圖像處理算法，提供準確、無破壞性的厚度測量和缺陷檢測。這一多合一單元還實現了極高的吞吐量、靈活性和可擴展性,提供了非常快速的數據訪問以及詳細的分析和報告。ADE MicroXAM的核心功能包括：自動晶圓映射-該機器利用高級掃描儀精確地映射每個晶圓的地形和缺陷輪廓。高分辨率成像-成像子系統支持多種光學配置,可實現分辨率、大視野和最佳檢測性能。高吞吐量優化策略使該工具能夠提供高吞吐量質量的晶圓測試。缺陷檢測-KLA MicroXAM可以檢測到諸如顆粒汙染、裂紋擴展和角變色等缺陷,精度極高。同時測量晶片-資產能夠一次自動測量多個晶片。可擴展性-可以對模型進行擴展,以提高自動測試速度和吞吐量。靈活晶片處理-TENCOR MicroXAM提供多種晶片處理機制,包括輸送機和旋轉盒式磁帶,能夠快速可靠地加載和卸載晶片。快速數據訪問-數據可以在幾秒鐘內傳輸到其他分析和報告系統。卓越的報告功能-強大的報告工具允許對流程產量和實際測量操作進行詳細的監視和控制。MicroXAM非常適合有效地滿足高級節點設備和更傳統的SiGe、復合半導體和MEMS應用的獨特需求。這種功能強大的設備是高度可靠和可定制的,當與自動化制造過程結合使用時,可提供準確、可重復的數據,以改進對過程的理解、監控和控制。