二手 ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500 #9211013 待售
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已售出
ID: 9211013
晶圓大小: 4"-8"
Wafer measurement system, 4"-8"
Single elevator
2D Contour map
ASC2000 Controller
Thickness centerpoint
Five point and full wafer scan
3 Point / Best fit reference: Bow and warp shape
500nm Design rule: Multifunctional dimensional measurements
GAST Vacuum pump
Data points: 8700 / 60 Seconds.
ADE/KLA/TENCOR Ultragage 9500是一個高端晶圓測試和計量系統,旨在確保微電子關鍵元件的質量控制。它通過提供對任意數量不同參數的精確測量,迎合了苛刻的微電子工業。9500非常適合自動化過程,在條帶和晶圓關鍵參數方面提供業界領先的速度和效率。內置計量站測量晶圓背面特性、傳感器直流和交流參數、板高和隆起力等多種不同特征。9500提供3D層輪廓測量,提供晶圓表面質量的準確信息。它的高分辨率過程可以檢測到表面缺陷和小至1um的損壞。其獨特的3D層識別算法產生精確的測量,可以保存並與不同的晶圓進行比較。這款9500機型還具有雙光源校準功能,圖層掃描速率高達75毫米/秒,主頁可自定義多達30個用戶定義設置。其先進的計量能力根據使用的材料預測不同的行為,這有助於降低成本和測試時間。9500還以其快速的處理和分析時間而聞名。高級後處理功能可以通過多個層次的分析快速生成結果,從而無需運行其他測試。此外,用戶友好的圖形用戶界面(GUI)還提供各種預設配置來自定義測試。此9500特定於型號的GUI提供了有用的實時反饋以及所有標準統計參數,可最大程度地控制測試過程。ADE Ultragage 9500提供了精密計量方面的最佳產品,具有廣泛的參數以確保晶圓的關鍵質量控制。KLA Ultragage 9500憑借其全面的計量工具、靜力學、後處理功能、快速處理解決方案和可定制的GUI,是微電子測試和質量控制的傑出系統。
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