二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9036357 待售

ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300是晶圓測試和計量設備，允許工程師在生產過程中測量集成電路性能。它通過采用光電測量技術、缺陷成像和粒度分析等復雜指標，用於檢測芯片和子系統在回編過程中的不符合。該系統提供了三種同步控制的成像模式：激光散射（LS）、暗場（DF）和亮場（BF）,可實現視覺精確的缺陷識別和精確的自動缺陷分類。缺陷識別得到強大的編程算法的幫助，這些算法能夠識別線性、矢量和芯片級缺陷。ADE UltraScan 9300還配備了用於晶圓數據管理的車載PC，以及用於數據精度驗證的高級單元反饋算法。其硬件集成到4軸機器人測量平臺中，以提高晶圓對晶圓的一致性，減少誤報。它有一個上層偏振濾波器和光散射檢測器，兩者都有適應性強的通帶中心進行精確測量。在功能方面，機器從初級測量中獲取輸入，如激光散射（LS）或暗場（DF），並評估幾個參數包括對比度、分辨率、噪聲、背景噪聲和均勻性。然後將測量數據轉換為有用的性能指標，在線性強度、矢量強度和模模均勻性等領域進行數據捕獲和分析。該工具還包括Smartyield軟件的各個方面，允許追蹤芯片上的個別缺陷，以及隨後識別受影響的電氣元件。這使工程師能夠快速準確地隔離不符合要求的情況並進行相應調整。綜上所述,KLA ULTRA SCAN 9300是一種先進的晶圓測試和計量資產,具有多種成像模式、多種數據分析方法以及功能強大的板載PC,可用於改進數據管理和反饋監控。它可以跟蹤個別缺陷並隔離不符合要求的情況,從而使工程師能夠快速高效地解決問題。