二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9101898 待售

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ID: 9101898
Thickness measuring system.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300是一種晶圓測試和計量設備,旨在為晶圓制造提供高精度和吞吐量。利用其非接觸式非感應掃描(Contactless Non-Inductive Scanning,CNIS)技術,該系統在一次通路中快速掃描完整的晶圓表面,提供快速、可重復的晶圓計量。基於激光的掃描單元能夠測量晶片參數,如正面或背面地形、參考平面、凸點高度以及整個晶片表面的圖樣特征。ADE UltraScan 9300將快速的測量速度與減少的損傷和晶圓表面振動相結合,提供了半導體制造所需的精度和可重復性。KLA ULTRA SCAN 9300采用了多項專利功能,以確保準確性和可重復性。它的垂直級允許對整個晶片進行精確的測量,而它們的高掃描速度使循環時間更快。CNIS掃描機使用安裝在Flexstage上的光學顯微鏡掃描晶片而不接觸,確保高精度而不會損壞晶片表面。激光掃描工具消除了影響測量精度的振動和運動偽影。UltraScan 9300還提供集成的過程控制和數據分析,使其成為晶圓制造的理想資產。該模型跟蹤工具性能,以確保在整個生產過程中實現可重復的結果。數據分析功能支持預測性維護、晶圓和缺陷映射、缺陷趨勢分析以及過程產量。它還支持一系列算法和統計技術。ADE/KLA/TENCOR ULTRA SCAN 9300除了擁有一整套板載測量和計量工具外,還包括用戶友好操作軟件。該軟件是用戶可配置的,可以針對特定的晶片或生產設置進行定制。它還包括用於數據讀取和分析、全局設置以及用於記錄和繪制結果的工具。ULTRA SCAN 9300是晶圓測試和計量的完美設備,提供準確且可重復的高吞吐量結果。其先進的CNIS掃描、集成過程控制和可配置軟件使其成為半導體制造的理想工具。
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