二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9241348 待售
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ID: 9241348
Wafer inspection system
E+ Station
Pre-aligner station
(2) Send cassettes
Single end effector robot
ASC System controller
Options:
(3) Receive cassettes
Dual high / Low res station
Light curtain
Dual end effector robot
Wafer typing
ASC 2000 System controller.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300設備是一種功能強大且用途廣泛的晶圓測試和計量解決方案。它使制造商能夠更有效地跟蹤晶片中的缺陷條件,從而改進半導體制造過程控制和產量管理。該系統提供2D和3D格式的高速晶圓掃描和分析,分辨率高達1.35 µm。它配備了10倍和4倍光學顯微鏡,均具有先進的圖像處理功能。自動顯微鏡級控制器允許X-Y、Z軸運動和內置校準輪廓的精確定位。除了精確的晶圓映射外,ADE UltraScan 9300還提供了自動缺陷檢測功能,從而能夠更快、更準確地進行缺陷分析。對該單元的光學器件進行了調整,以優化各種條件下的圖像采集。其高功率激光和傳感器具有測量正向和反射光傳輸的能力,非常適合晶圓厚度測量和隔離粒子分析。該機還可以監控接觸電阻、回流焊料覆蓋、表面粗糙度和介電層厚度等關鍵參數。其直觀的軟件界面為晶圓測試和計量提供了一套強大的功能。其中包括3D和多層成像、功能強大的圖像分割過濾器、自動化的結果處理,以及一套用於精確測量和缺陷分析的過程後校準工具。軟件還具有數據、圖像和報告的自定義導出選項。KLA ULTRA SCAN 9300易於安裝和維護,旨在最大程度地減少停機時間。其堅固的設計經認證可用於潔凈室操作,並且能夠承受環境條件,包括振動和沖擊。總體而言,ADE/KLA/TENCOR ULTRA SCAN 9300是一種可靠、高速、高精度的晶圓測試和計量工具,旨在提供可靠和可重復的結果。它具有自動化、直觀的工具和功能,可幫助改進半導體制造過程控制和產量管理。
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