二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9281937 待售

ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300晶圓測試和計量設備是一種高性能、非接觸式、多模具計量儀器，設計用於先進的半導體開發，產生無與倫比的性能和精度。該儀器的專利體系結構能夠在幾分鐘內從多個角度自動捕獲晶片上高達9300個連續模具的超高分辨率圖像。成像系統使用LED陣列從四個角度主動照亮晶圓表面。此照明可確保模具的所有特征都可見,並增強結構的對比度。這種照明和專有光學的結合使圖像能夠以每像素0.63 μ m的有效分辨率形成。原始圖像數據收集後,將使用一套集成的高級算法進行處理,以測量各種參數,如模具位置、尺寸和形狀、電氣特性、設備級屈服和排便。通過重復圖像的統計處理和先進的無損檢測能力確保測量的準確性，從而實現面向功能的計量。該股還納入了一個綜合分析環境，用於審查結果和有效可視化數據。除了映像和過程分析外,ADE UltraScan 9300還包括高級數據管理工具,可幫助協調和歸檔測量結果。該機可編程為自動測量執行，可與幾個實驗室自動化系統接口。此功能允許從單個晶片到全標線以任何頻率進行數據收集。KLA ULTRA SCAN 9300提供了令人興奮的成像、分析和結果管理功能組合,使其成為工業和研究晶圓測試和計量的理想工具。大面積覆蓋和極高分辨率的能力確保晶圓上的所有特征都能被準確地表征出來。憑借其高級數據管理功能,TENCOR UltraScan 9300能夠長期有效地存儲和檢索測量結果,使其成為一個非常寶貴的研究工具。