二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9200036 待售
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已售出
ID: 9200036
Wafer metrology system
Non-contact capacitive probe measurement:
Resolution: 10 um
Wafer thickness range: 400 to 800 Microns
E-PLUS Advanced / Thickness between stations
Signal effector arm robot
9600 Power supply
Non contact P/N type tester
Wafer resistivity: 0.1 to 200 ohm-cm
ADE 350 Arm controller
Auto A probe
ASC Controller
Includes:
Capable of measuring-lapped, etched, polished and patterned wafers - measures bow and warp
Site and global flatness
(2) Cassette input stations
(3) Cassette output stations
Prealigner station
Hi-RES Station
Operation manual
Maintenance manual.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600是為半導體工業制造的最先進的晶圓測試和計量設備。它旨在為研發科學家提供一套功能強大的模塊化測試儀器，用於執行高級晶圓級測量。UltraScan能夠自動計量各種測試參數,如應力應變、薄膜厚度、表面特性、電氣特性等。它可以高精度測量晶片的結構、性質和化學成分，可用於廣泛的表面和深層計量。系統具有514mm ²視野、12.6米μ圖像光斑大小和0.6nm分辨率。它每小時最多可處理8個晶圓，工藝吞吐量為每晶圓15至40分鐘，具體取決於所需的測量。該單元配備了由電荷耦合器件（CCD）傳感器和光學顯微鏡組成的成像機，用於檢測晶圓表面的測量信息。它可以高精度校準讀出、分析、存儲測試圖像。這種成像工具也用於聚焦、定位和執行非接觸面對準。該資產能夠采集範圍廣泛的樣品，如絕緣體上矽、多層晶片、薄膜、多晶矽、晶片級封裝等。它還具有支持多種計量技術的能力，如軸向掃描、應力測試和蝕刻深度。ADE UltraScan 9600由用戶友好界面控制和監視。它支持通過本地或廣域網傳輸、分析和存儲數據。它配備了支持晶片自動診斷和分類的內置軟件模型。最後,該設備設計方便維護和維修.總體而言,KLA ULTRA SCAN 9600是一個功能強大的晶圓測試和計量系統,可提供高度精確的測量,並能夠支持一系列用戶定義的應用程序。
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