二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9800 #9397208 待售

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ID: 9397208
晶圓大小: 6"
Wafer characterization system, 6" Non-functional parts: ASM 9800 E-Squared module ASM Vacuum chuck, 200 mm diameter.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9800是一種最先進的晶圓測試和計量設備,能夠獲取對高效制造過程至關重要的晶圓級信息。該系統非常適合自動電氣測試、成像和微小型/納米計量應用。ADE UltraScan 9800能夠以高達0.05 µm的驚人分辨率對芯片進行成像,並在高速下獲得詳細的電氣特性,如電阻、電容和泄漏電流。這種組合功能對於生產和開發環境都是非常寶貴的,各個點的成像速度可達25kHz。獨特的是,KLA UltraScan 9800可以檢測到高度分辨率為0.2nm的微小缺陷和障礙物,使其在半導體行業中具有優勢。UltraScan 9800還可以測量直徑達200mm的半導體基板,其重復性和精度優於± 0.02 µm。其自動化視覺單元執行模具中心和每個單獨芯片的快速、精確定位,能夠處理不同位置的不同成像區域和分辨率。TENCOR UltraScan 9800最令人印象深刻的特點是視覺補償能力。這臺機器可以執行廣泛的基於視覺的操作,例如映射、叠加和成像校正。利用先進的反饋控制系統,ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9800的視覺補償模塊可以在成像條件下自動保持晶片所需的對準和位置。此外,它還可以檢測、檢查和繪制寬範圍晶圓基板上小至0.1µm的缺陷。在安全性方面,ADE UltraScan 9800符合歐盟、美國和日本的標準,並配有用戶友好界面面板。所有操作均無潤滑,符合FDA、RoHS和CSA規定。此外,該工具還可以與客戶現有的軟件集成API套件,使其使用更加方便。最後,KLA UltraScan 9800是精確可靠的晶圓測試和計量應用的理想解決方案。該資產具有高速成像和計量功能,旨在在生產和研究環境中提供可靠的結果。該模型符合各種安全法規及其與現有軟件的兼容,使其成為半導體行業的完美選擇。
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