二手 ADE / KLA / TENCOR WaferSight #9235753 待售

ADE/KLA/TENCOR WaferSight是一種先進的基於專利白光幹涉測量（WLI）技術的串聯晶圓測試和計量系統。ADE WaferSight是一種經濟高效的無損晶片測試解決方案,能夠測量所有類型的曲面-從宏特征到納米級深度。該系統的創新設計允許減少周期時間和改進質量控制,提供晶圓缺陷檢測和特性識別功能。KLA WaferSight的自動化設置使其能夠快速適應各種尺寸、材料和幾何形狀的晶片,從而能夠更快地描述過程缺陷和全局現象。此外,它還提供統計和最小/最大值的串聯晶圓測試-從模內測量到跨晶圓測量。WaferSight中集成的光學元件允許對晶圓表面進行高精度3D測量。光學還允許在給定曲面上應用可變跟蹤采樣,從而能夠檢測非均勻性和詳細的曲面特性。這樣可以增強晶圓級缺陷檢測和分析,以及對地形進行精確的3D和剖面測量。利用光學衍射，TENCOR WaferSight還可以測量CD、寬度和平坦度的表面和特征特征。此外,ADE/KLA/TENCOR WaferSight還可用於諸如叠加計量、缺陷趨勢剖面分析和過程均勻性監測等分析目的。ADE WaferSight的軟件可以定制以滿足客戶需求,提供與過程控制軟件的完全集成以及與自動化的集成。可視化和報告選項可通過實時Web瀏覽器、PDF格式或通過外部報告生成器獲得,同時還有大量數據分析技術可用於進一步的數據優化。綜上所述，KLA WaferSight是一個串聯晶圓測試和計量系統，提供快速可靠的測量，適用於詳細的表面表征、精確的3D和輪廓地形測量以及過程控制。它可進一步定制並提供經濟高效的性能,使其成為半導體制造過程監控和缺陷檢測的理想選擇。