二手 ADVANCED ENGINEERING 871 #175668 待售
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ADVANCED ENGINEERING 871(AE871)是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在使制造商能夠執行高度精確、復雜的計量任務。該系統的設計使得檢查晶圓規格和測量表面特性更加容易。該AE871提供卓越的表面粗糙度、小邊緣尺寸的功能、大的測量範圍和靈活性。該單元由兩個主要組成部分-計量圓頂和計量探測器組成。計量圓頂是一個光學校正的圓頂,保證每個測量點空腔壁的均勻照明。它最大限度地減少了深度變化,並確保了更好的測量精度。計量探針具有可互換的尖端,測量範圍廣泛的晶圓尺寸和表面特性。AE871機還具有高精度光學探針校準工具。特殊設計可確保資產的校準精度達到10 nm以下的最高精度。該模型允許使用0.25微米分辨率測量指尖大小的特征,總體測量容量範圍為0至4毫米。AE871的板載X-Y-Z軸級驅動器設計用於在計量圓頂內保持測量點,確保穩定性和準確性。變速Y軸的可調高度進一步優化了性能,而圓頂的精確對準則允許晶圓的全面積覆蓋。AE871設備集成了數據采集和分析軟件包,可以進行全面的數據分析。該軟件提供了宏和數據處理過程的庫。通過這些功能,AE871使操作員能夠嚴格審查和分析數據以進行決策。此外,AE871還附有SCANit-8軟件,該軟件旨在控制數據采集和處理操作。它可以控制計量探針的位置、測量和存儲數據。軟件還提供了用於創建、查看和調整數據的圖形用戶界面(GUI)。總體而言,AE871晶圓測試和計量系統使制造商能夠快速準確地進行測量。先進的硬件和軟件相結合,使晶圓表面得到全面覆蓋,提高了精度和效率,靈活的數據采集和分析操作。此完整的計量包可幫助制造商實現更高的產品質量、更高的生產率和更快的產品周轉時間。
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