二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #293668733 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D
已售出
ID: 293668733
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Metrology system, 12" 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D是一種動力晶圓測試和計量設備,設計用於半導體技術和制造。其能力包括先進的計量學、晶圓圖、3D地形的後處理、網格晶圓的鑒定、掩模測試和直角檢查曲面。該工具配備了多通道電子束源、控制控制臺和用戶界面等幾個組件。電子束源將受控的電子脈沖傳遞到樣品表面,允許高分辨率成像和地形測量。AMAT VeraSEM 3D通過使用加速度、減速度和通過電子柱的束偏轉的組合,可以測量和映射小特征、非平面特征和精細的表面紋理的輪廓。在檢查中,電子束被掃描,在交互作用中生成的二次電子被用來收集3D表面圖的圖像或數據。控制櫃為從APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D獲取的數據提供板載圖像和數據處理功能。通過該系統,對各種參數和功能進行控制和監控。可用於調整電子柱的電流密度、掃描電子的加速度和減速相的長度以及其他參數。VeraSEM 3D用戶界面是為便於操作和數據管理而設計的。它可用於監視設備並可視化收集的圖像和3D曲面映射。此外,還使用用戶界面定義掃描區域、查看模式和3D地形測量設置。它還提供了用於存儲測試數據的記錄功能,並允許自定義用戶界面。AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D具有先進的計量能力,是新興半導體測試應用的理想選擇。通過使用高分辨率成像和數據處理相結合,可以精確地測量和映射晶圓表面上的小和非平面特征。其用戶友好的界面使機器易於操作,並允許根據特定應用程序的要求進行定制。
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