二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #293831591 待售

ID: 293831591
Metrology system.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D晶片測試和計量設備是一種高速、高精度的系統,使用先進的算法來測量各種半導體晶片上的基板形態。該單元快速檢測晶片表面的危害和不規則性,包括顆粒、碎屑、劃痕和不均勻的沈積物。該機包括一系列自動化分析工具和圖像處理方法,以快速表征和分析基板的形態。VeraSEM工具的硬件和光學設備旨在快速獲取高分辨率的SEM圖像和晶圓結構的無損測試數據。資產的自動化分析功能支持自動化缺陷分析、表面粗糙度測量和多級計量。它還包括一個基於激光的3D測量模型,以生成可導出用於進一步分析的3D地圖圖像。設計了基於算法的缺陷檢測和圖像分析算法,以提高缺陷檢測和汙染檢測的準確性和速度。算法利用模式識別、分割和形狀識別來準確表征缺陷。該系統可以進行各種分析,從確定顆粒大小和位置到表征芯片和劃痕,再到測量非均勻沈積。除了缺陷檢測和分析,AMAT VeraSEM 3D還能夠測量晶圓基板的形態特性。它包括許多功能,以使基板的表面、界面和體積特性的測量和分析成為可能。它可以在多個細節級別上測量表面地形、表面粗糙度、單個特征的表面粗糙度、表面積、厚度變化以及其他形態特征。應用材料VeraSEM 3D是快速準確表征基片表面形態的絕佳工具。它能夠快速檢測晶圓表面的各種危害和不規則性,並結合自動化圖像處理算法和3D映射功能,對基板結構進行詳細分析和可視化。
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