二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #9293429 待售
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ID: 9293429
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Scanning Electron Microscope (SEM), 12"
SMIF Type
Reticle size, 6"
Wafer of type: Notch at 6 o'clock
Stage: (3) Load ports
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D是來自AMAT的新一代晶圓測試和計量解決方案。它具有先進的設備體系結構和最先進的傳感器技術,使其成為當今最強大的晶圓測試和計量解決方案之一。AMAT VeraSEM 3D利用一個多傳感器平臺,該平臺將三個組件的傳感器-映射激光、表面分析儀和成像攝像頭-與先進的系統體系結構集成在一起。映射激光器使用快速、無損的光束精確地映射晶圓表面,並為表面成像和分析提供數據。曲面分析儀提供精確的曲面表征數據,包括曲面拓撲、輪廓和粗糙度特征。最後,成像相機捕獲晶片的詳細表面圖像,以提供關於微觀結構缺陷和其他變化的寶貴數據。應用材料VeraSEM 3D利用應用材料數十年的晶圓測試和計量經驗,為客戶提供無與倫比的準確性和可重復性。它具有比5 nm更好地實現3-D曲面分辨率的能力,最小特征尺寸僅為40 nm。它的先進算法能夠檢測和測量尺寸變化小至0.1微米的特征。該單元還配備了缺陷檢測和分類的專有圖像分析算法,為操作員提供了快速可靠的檢測和控制過程變化的方法。VeraSEM 3D旨在滿足半導體及相關行業的苛刻要求。其高速數據采集和處理功能可幫助操作員快速準確地識別缺陷,並在需要時啟動流程校正。該機器還提供了專用的用戶友好圖形用戶界面,簡化了晶圓檢查和計量任務,並實現了完全定制。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D是一種功能強大且用途廣泛的晶圓測試和計量解決方案,它結合了最先進的傳感技術、工具體系結構和專有算法,可提供卓越的準確性和可重復性。它使操作員能夠很容易地分析晶片中的微觀結構缺陷和其他變化,使它們能夠快速優化過程控制和提高產量。
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