二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #9412455 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D是一種晶圓測試和計量設備，設計用於在原子水平上精確測量電子結構的臨界尺寸。它能夠使用無損、高分辨率的成像技術和分析技術研究3D微結構。AMAT VeraSEM 3D旨在提供有關設備內各個特征的拓撲和定向的信息,並提供自上而下的特性。該系統的吞吐量高達每小時20個晶圓位置,測量持續時間從幾秒鐘到幾分鐘不等,具體取決於特征測量的復雜性。該單元由多個組分組成，包括成像室、掃描電子顯微鏡和樣品制備階段。成像室是一個潤濕的機器和容納樣品，允許成像比適當的設備測量優選的環境。掃描電子顯微鏡（SEM）是一種超高分辨率的工具，能夠產生尺寸小於5納米的圖像。最後，樣品制備階段用於創建用於成像的平坦、幹凈的表面，以及將樣品加工成準備成像的均質層。APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D具有自動掃描類型和掃描路由的功能,允許用戶對即時成像和計量以及預定義的3D分析路由進行編程。資產還提供了多種先進的計量能力，如薄膜厚度測量和成分分析、成分映射、高級圖像分析等。VeraSEM 3D的性能通過使用其精密的軟件進一步提高,該軟件能夠提供對結果的全面分析。該軟件提供數據密集型工具，用於分析和解釋可用於設備壽命預測、多層設備模擬和統計過程控制等各種應用的圖像和測量數據。綜上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D是一個晶圓測試和計量模型，旨在分析原子水平上電子結構的臨界維度。它的高級軟件功能允許復雜的掃描、成像和分析過程,可用於各種應用程序。