二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9130176 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM是一種晶圓測試和計量設備,在自動晶圓測試和測量過程中具有高精度和重復性。該系統采用高精度掃描電子顯微鏡，能夠實現0.5納米的導航精度，以及涵蓋設備制造所有階段的各種測量能力。此外，該單元使用先進的光學識別機來識別器件、活動區域和晶圓上的缺陷。這允許對表面形態和組成、缺陷、薄膜厚度、覆蓋配準和摻雜剖面等特性進行精確協調的測量。AMAT VeraSEM還具有自動晶圓處理工具,可確保測試過程中晶圓的穩定性。資產能夠處理不同形狀、大小和方向的晶片,確保在測試期間保持晶片的方向。此外,該模型還提供了一系列計量工具來測量設備屬性,如線寬、叠加精度和厚度,以及用於查看和分析晶圓上納米級對象的成像功能。該設備還集成了兩種集成的渦流測量技術，允許對薄膜厚度、金屬膜應力和金屬線電阻率進行快速準確的測量。這樣就可以更精確地識別和測量薄膜和器件上的金屬層。最後,APPLIED MATERIALS VeraSEM得到直觀的用戶界面和全面的軟件的支持,從而簡化了數據收集和分析。這使用戶能夠輕松創建和自定義作業,並通過詳細的數據分析創建全面的報告。此外，系統可以與其他系統和設備集成，如鑒別器，使其非常適合同時測試多個不同的設備。