二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9196915 待售
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單擊可縮放
ID: 9196915
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
3D Scanning electron microscope (SEM), 8"
Wafer shape: SNNF
PP Miraial, 8"
No SMIF interface
Electron optical system:
Electron gun: Schottky emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300V - 2000V
Probe current:
Low: 5pA
Medium: 10pA
High: 20pA
Electromagnetic lens: 3 Stages electromagnetic lens
Boosting voltage: Beam deflector module
Objective lens
Scan coil: 2 Stages electromagnetic deflection (X & Y-axes)
Magnification: 1,000x to 400,000x (100µm to 0.25µm FOV)
Wafer imaging ability: Entire surface of 8" (or 12") wafer
Asspect ratio: >14:1
Tilt function: 5 Degrees (4 Directions)
Resolution: 3nm (500V)
Optical microscope system:
COHU CCD Camera: Monochrome
Magnification: 16x / 220x (450µm / 6000µm FOV)
Wafer imaging ability: Entire surface of 8" (or 12") wafer
Workstation:
Model: SGI Octane
OS: Unix
HDD Capacity: 73 GB
Memory: 1024 MB
SECS/GEM Communication interface
Wafer stages: ANORAD X,Y & Z Stages
Moving speed: 300 mm/sec
Function target: Faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability: Notch / Orientation flat
Pre-alignment: Sensing by CCD bar (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit
Uninterruptible power supply: POWERWARE+Plus 18/18
Dry pump load lock: EBARA AA20
Dry pump chamber: EBARA A10S
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM是一種先進的晶圓測試和計量設備，提供最高水平的精度、精度和吞吐量。AMAT VeraSEM強大、靈活、強大的平臺允許集成解決方案,以提高晶圓測試的質量、生產率和產量。應用材料VeraSEM是一個由四個主要組件組成的集成系統：掃描儀和樣品級、先進的晶圓檢測儀、光學檢測儀和聚焦傳感機以及激光工具。VeraSEM的掃描儀和樣品階段設計為提供精確、可重復的掃描和樣品定位，以確保最大的測試效率。該資產具有出色的可重復性和穩定性,為多個操作保留相同的掃描和采樣位置。AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM先進晶片檢測模型利用先進光源、專用濾光片和傳感器快速識別晶片中的弱點、氣泡、劃痕等缺陷。該設備還可以精確測量晶圓厚度、平坦度和傾斜度。光學檢查和聚焦傳感系統允許高精度的表面和背面檢查，以檢測可能對生產過程產生影響的問題。該單元還能夠測量和跟蹤小缺陷，提供晶圓狀況的全面視圖。最後，利用激光機器精確測量晶圓輪廓、IPE、EPE和Zernike分析。它還提供精確的測量來檢測粒子、坑等。AMAT VeraSEM是任何一個尋求一個多合一解決方案來測試、測量和檢查各種晶圓尺寸的企業的理想選擇。該工具精確、可重復的掃描、先進的晶片檢測、光學檢測和聚焦傳感以及激光系統，使其成為晶片測試和計量的強大工具。
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