二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9236866 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM
ID: 9236866
晶圓大小: 8"
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM是一個完整的晶圓測試和計量解決方案,旨在滿足高級內存制造過程的需要。AMAT VeraSEM具有強大的成像、分析和校準功能,可輕松集成到現有生產線環境中。應用材料VeraSEM利用先進的光譜成像技術實現超高靈敏度,提供快速測量和快速結果。先進的平臺允許使用位於采樣階段的晶片進行準確、實時的數據收集。VeraSEM通過檢查材料的2D和3D橫截面,對顆粒、納米顆粒、缺陷和Z高度特性提供卓越的檢測和分析。該設備采用了增強型熱相幹掃描電子顯微鏡(ThermoSTEM),可捕獲和處理各種晶圓幾何形狀的數百萬個數據點。分析提供了對材料、表面電導率、晶粒鍵、方向和其他關鍵參數的特殊靈敏度。晶體結構成像由AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM的可定制200-2500V加速電壓範圍和40-80 nA電流範圍實現。AMAT VeraSEM的晶圓映射功能有助於對較小的設備進行全面測試,方法是在晶圓上映射多個感測點或目標區域,以便使用其雙位置采樣級同時進行測量。高達50kX和高分辨率成像功能的放大倍率可提供高達0.2nm的分辨率。可以通過板載數據存儲系統從中央控制站遠程監視操作,以存檔映像數據。除了APPLIED MATERIALS VeraSEM的核心操作外,還提供了一整套軟件解決方案,以方便晶圓測試的管理、優化和數據分析操作。使用Unit Manager軟件,用戶可以通過安全身份驗證訪問整個網絡環境中的多個資源。所有的自動化測量操作如缺陷智能、粒子大小、晶圓對稱和幾何分析都是在Advanced Metrology Suite的支持下執行的。該機器還包括安全的數據備份和歸檔解決方案,以確保基本符合行業質量標準。最後,AMAT的VeraSEM為先進的晶圓測試和計量提供了一個很好的解決方案。強大的成像、分析和校準功能、對遠程監視的支持、安全的身份驗證和數據存儲以及用於數據優化的板載軟件相結合,有助於簡化平臺與各種生產線環境的集成。
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